2XZ-C İki kademeli döner kanatlı vakum pompası
Avantajları:
Bir miktar su buharı pompalamak için gaz balast vanası ile donatılmıştır.
Zorunlu yağ giriş pompası ile donatılmış, çok yağlayıcı, stabil işlev.
Yağ geri emilim önleyici cihazla donatılmıştır.
Küçük hacim, düşük ağırlık ve düşük gürültü.
Yüksek nihai vakum
Giriş basıncını 1.33X103Pa’da tutarak sürekli olarak çalışabilmektedir.
Yağ sızıntısı yok, püskürtme yok, kirlilik yok. 2XZ-6C,8C,15C,25C egzozu yağ sisi toplayıcı ile birleştirilmiştir.
Başvuru:
- Yarıiletken Üretimi: CVD/PVD ekipmanı ön vakum sistemleri
- Güneş Pili Üretimi: Silisyum yonga işleme (mono/polikristalin)
- Tıbbi Sterilizasyon: İlaç ambalajlarında EO gazının giderilmesi
- Vakum Kaplama: Optik/metal kaplama sistemleri
- Araştırma Tesisleri: Parçacık hızlandırıcı vakum bakımı
- Gıda İşleme: MAP (Modifiye Atmosfer Paketleme) sistemleri