Сухие вакуумные насосы используются в полупроводниковой промышленности, сухие механические вакуумные насосы (именуемые «сухими вакуумными насосами») определяются как вакуумные насосы, способные начинать всасывание при атмосферном давлении и выбрасывать непосредственно в атмосферу. Эти насосы работают без масла или других рабочих сред внутри насосной камеры, достигая конечных давлений, сопоставимых с давлениями вакуумных насосов с масляным уплотнением.

Разработка вакуумных насосов все больше зависит от требований сред применения вакуума. Современные отрасли промышленности и высокотехнологичные производственные процессы требуют вакуумных систем, способных работать с едкими газами, частицами пыли, токсичными газами и безмасляными операциями. Традиционные системы вакуумных насосов с масляным уплотнением часто не отвечают этим требованиям. В результате сухие вакуумные насосы с их широким диапазоном скоростей откачки, безмасляными камерами, низким потреблением энергии, коррозионной стойкостью и другими преимуществами получили широкое распространение. В настоящее время они являются предпочтительным оборудованием для получения вакуума в таких отраслях, как микроэлектроника, полупроводники, прецизионная обработка и оборудование для возобновляемых источников энергии.

Основные области применения

Сухие вакуумные насосы становятся все более необходимыми в:

1. Графеновые материалы и технологии их применения
2. Высококачественное углеродное волокно и композиты
3. Технология твердотельного лазера
4. Жаропрочные сплавы и технологии их производства
5. Полупроводниковые чипы и эффективное преобразование и хранение энергии
6. Материалы для использования и применения солнечной энергии
7. Новые функциональные и интеллектуальные материалы (например, технология вакуумного покрытия)

Эти области требуют значительного количества вакуумного оборудования, в частности чистых, безмасляных сухих вакуумных насосов.

Применение в производстве полупроводников

Процесс производства полупроводников состоит из нескольких этапов, включая обработку пластин, окисление, литографию, травление, осаждение тонких пленок, межсоединения, тестирование и упаковку. Большинство этих процессов требуют безмасляной вакуумной среды.

Сухие вакуумные насосы, используемые в производстве полупроводников

1. Вакуумирование камеры с загрузочным шлюзом (L/L)
   • К числу проблем относятся необходимость выдерживать высокочастотные атмосферные удары и соответствовать требованиям крупномасштабного производства, таким как экономия энергии и пространства.
   • Многоступенчатые насосы Рутса обычно используются из-за их компактного размера, экономической эффективности и экономии энергии. Для больших камер L/L предпочтительнее система Рутса + винтовой насос.
2. Вакуумирование технологической камеры
   • Стадия предварительного вакуумирования: Высокая скорость откачки от высокого до низкого давления с улучшенными возможностями энергосбережения. Многоступенчатые насосы Рутса отличаются эффективностью, но имеют сложную конструкцию.
   • Стадия обработки: обрабатывает едкие газы (например, в процессах травления) и твердые частицы. Насосы должны быть устойчивы к коррозии, перерабатывать побочные продукты и работать с высокой термостойкостью. Сухие насосы кулачкового типа обладают высокой степенью адаптации, особенно в процессах травления.

Применение в ключевых полупроводниковых процессах

1. Производство пластин
   • Включает вытягивание монокристаллов и финишную обработку кремниевых пластин (шлифовальные станки).
   • Основные проблемы: работа с мелкой кремниевой пылью и аргоном во время вакуумирования.
   • Предпочтительная конфигурация: винтовые насосы в паре с насосами Рутса для стабильной работы и управляемых расходов на техническое обслуживание.
2. Процесс травления
   • Аналогично процессам CVD, но с менее интенсивными химическими реакциями. Основные проблемы включают обработку пыли, а технологические газы являются второстепенным фактором.
   • Обычно используются насосы с кулачковым механизмом или многоступенчатые насосы Рутса, причем все большую популярность набирают конструкции с кулачковым механизмом и многоступенчатыми насосами Рутса.
3. Напыление тонких пленок (CVD)
   • Высокий уровень вакуума и эффективное удаление пыли имеют решающее значение. В зависимости от требований к вакууму используются насосы типа «руц + кулачок» или винтовые насосы.

Рекомендуемые сухие вакуумные насосы

Для полупроводниковых применений NuoXuTech рекомендует следующие высокопроизводительные сухие вакуумные насосы:

1. Многоступенчатые насосы Рутса
   • Превосходная компактная конструкция, энергоэффективность и экономичность для крупносерийного производства.
2. Сухие насосы кулачкового типа
   • Превосходно подходит для работы с твердыми частицами, едкими газами и операциями с высоким крутящим моментом, особенно в процессах травления.
3. Screw Pumps
   • Идеально подходит для стадий предварительного вакуумирования и применения в больших камерах, обеспечивая высокую эффективность при низких уровнях вакуума.

Эти насосы обеспечивают оптимальную производительность в производстве полупроводников, обеспечивая надежную работу без масла и долговременную стабильность.

Связаться с нами

Для получения дополнительной информации об использовании Сухие вакуумные насосы используются в полупроводниковой промышленности, пожалуйста, свяжитесь с contact@nuoxutech.com или посетите наш блог nuoxutech.blogspot.com .Вы также можете связаться с нами через WhatsApp по телефону +86 13849062209. Наша команда готова предоставить вам профессиональное обслуживание и поддержку.

Ключевые слова

сухой вакуумный насос, полупроводниковая вакуумная система, NuoXuTech Dry Сухие вакуумные насосы используются в полупроводниковой промышленности, насос Рутса, кулачковый насос, сухие вакуумные насосы, используемые в полупроводниках, винтовой насос, производство полупроводников, промышленные сухие вакуумные насосы для литографического легирования и процессов химического парообразования, Энергоэффективные вакуумные решения для плазменного травления и ионной имплантации