Yarı İletken Endüstrisinde Kuru Vakum Pompaları Kullanımı, Kuru mekanik vakum pompaları (“kuru vakum pompaları” olarak adlandırılır), atmosferik basınçtan emmeye başlayıp doğrudan atmosfere boşaltabilen vakum pompaları olarak tanımlanır. Bu pompalar, pompa haznesinin içinde yağ veya diğer çalışma ortamları olmadan çalışır ve yağ sızdırmaz vakum pompalarınınkine benzer nihai basınçlara ulaşır.
Vakum pompalarının geliştirilmesi, vakum uygulama ortamlarının taleplerinden giderek daha fazla etkilenmektedir. Modern endüstriler ve yüksek teknoloji üretim süreçleri, aşındırıcı gazları, toz parçacıklarını, zehirli gazları ve yağsız işlemleri idare edebilen vakum sistemleri gerektirir. Geleneksel yağ sızdırmaz vakum pompası sistemleri genellikle bu talepleri karşılamada başarısız olur. Sonuç olarak, geniş pompalama hızı aralığı, yağsız odaları, düşük enerji tüketimi, korozyon direnci ve diğer avantajlarıyla kuru vakum pompaları yaygın olarak benimsenmiştir. Artık mikroelektronik, yarı iletkenler, hassas işleme ve yenilenebilir enerji ekipmanı gibi endüstrilerde tercih edilen vakum edinim ekipmanıdırlar.
Ana Uygulama Alanları
Kuru vakum pompaları şu alanlarda giderek daha fazla önem kazanmaktadır:
- Grafen malzemeleri ve uygulama teknolojisi
- Yüksek performanslı karbon fiber ve kompozitler
- Tamamen katı hal lazer teknolojisi
- Yüksek sıcaklık alaşımları ve üretim teknolojileri
- Yarı iletken yongalar ve verimli enerji dönüşümü ve depolama
- Güneş enerjisi kullanımı ve uygulama malzemeleri
- Yeni işlevsel ve akıllı malzemeler (örneğin vakum kaplama teknolojisi)
Bu alanlar, özellikle temiz, yağsız kuru vakum pompaları olmak üzere önemli miktarda vakum toplama ekipmanına ihtiyaç duyarlar.
Yarıiletken Üretimindeki Uygulamalar
Yarı iletken üretim süreci, yonga işleme, oksidasyon, litografi, aşındırma, ince film biriktirme, ara bağlantı, test etme ve paketleme gibi birden fazla adımdan oluşur. Bu süreçlerin çoğu yağsız bir vakum ortamı gerektirir.
Yarıiletken Üretiminde Kuru Vakum Pompalarının Kullanımı
- Yük Kilidi (L/L) Hazne Vakumlama
- Karşılaşılan zorluklar arasında yüksek frekanslı atmosferik şoklara dayanıklılık ve enerji ve alan tasarrufu gibi büyük ölçekli üretim gereksinimlerini karşılamak yer alıyor.
- Çok kademeli kök pompaları, kompakt boyutları, maliyet etkinliği ve enerji tasarrufu nedeniyle yaygın olarak kullanılır. Daha büyük L/L odaları için, roots + vidalı pompa sistemi tercih edilir.
- Proses Odası Vakumlama
- Ön Vakumlama Aşaması: Yüksekten düşüğe yüksek basınçlara kadar yüksek pompalama hızları, gelişmiş enerji tasarrufu yetenekleriyle. Çok kademeli kök pompaları verimlilikte mükemmeldir ancak yapı olarak karmaşıktır.
- İşleme Aşaması: Aşındırıcı gazları (örneğin, aşındırma işlemlerinde) ve partikül maddeyi işler. Pompalar korozyona dayanıklı olmalı, yan ürünleri işlemeli ve yüksek termal kararlılıkla çalışmalıdır. Pençe tipi kuru pompalar, özellikle aşındırma işlemlerinde oldukça uyumludur.
Temel Yarıiletken Proseslerindeki Uygulamalar
- Wafer Üretimi
- Tek kristal çekimi ve silikon gofret bitirme (taşlama makineleri) işlemlerini içerir.
- Başlıca zorluklar: Vakumlama sırasında ince silikon tozu ve argon gazıyla başa çıkmak.
- Tercih edilen konfigürasyon: İstikrarlı çalışma ve yönetilebilir bakım maliyetleri için kök pompalarla eşleştirilmiş vidalı pompalar.
- Aşındırma İşlemi
- CVD proseslerine benzer ancak daha az yoğun kimyasal reaksiyonlar içerir. Başlıca zorluklar tozun işlenmesidir, proses gazları ikincil bir husustur.
- Yaygın olarak pençe pompaları veya çok kademeli kök pompaları kullanılırken, kök + çok kademeli pençe pompası yapıları giderek popülerlik kazanıyor.
- İnce Film Biriktirme (CVD)
- Yüksek vakum seviyeleri ve etkili toz işleme kritik öneme sahiptir. Vakum gereksinimlerine bağlı olarak kök + pençe pompaları veya vidalı pompalar kullanılır.
Önerilen Kuru Vakum Pompaları
Yarı iletken uygulamaları için NuoXuTech aşağıdaki yüksek performanslı kuru vakum pompalarını önermektedir:
- Çok Kademeli Roots Pompaları
- Yüksek hacimli üretim için kompakt tasarım, enerji verimliliği ve maliyet etkinliği açısından mükemmeldir.
- Pençe Tipi Kuru Pompalar
- Özellikle aşındırma işlemlerinde partikül madde, aşındırıcı gazlar ve yüksek torklu işlemler için üstündür.
- Screw Pumps
- Ön vakumlama aşamaları ve büyük hazne uygulamaları için idealdir, düşük vakum seviyelerinde yüksek verimlilik sunar.
Bu pompalar, yarı iletken üretiminde optimum performansı garanti altına alarak güvenilir, yağsız çalışma ve uzun vadeli stabilite sağlar.
Bize Ulaşın
Yarı iletken endüstrisinde kullanılan kuru vakum pompaları hakkında daha fazla bilgi için contact@nuoxutech.com dresinden Nuoxutech ile iletişime geçin veya Blogger’ımız nuoxutech.blogspot.com adresini ziyaret edin. Ayrıca +86 13849062209 numaralı WhatsApp’tan bize ulaşabilirsiniz. Ekibimiz size profesyonel hizmet ve destek sağlamaya hazır.
Anahtar kelimeler
kuru vakum pompası, yarı iletken vakum sistemi, NuoXuTech kuru vakum pompalarının yarı iletkende kullanımı, kök pompası, pençe pompası, kuru vakum pompalarının yarı iletkende kullanımı, vidalı pompa, yarı iletken üretimi, Litografi doping ve kimyasal buhar işlemleri için endüstriyel kuru vakum pompaları, Plazma aşındırma ve iyon implantasyonu için enerji açısından verimli vakum çözümleri